中古 SEMITOOL 870F #178373 を販売中

SEMITOOL 870Fは、半導体ウェーハ加工の精度と効率を高めるために設計された、完全に自動化された高性能フォトレジスト開発およびストリップ装置です。このシステムは、高度なフォトレジスト開発とクリーンルーム統合のための拡張性と信頼性の高いプラットフォームを提供します。870Fは高いスループット容量で設計され、1時間あたり最大800回の実行を実現しました。最大200mmまでの基板に対応できるリップルコンベアユニットを搭載したフォトレジストマシンで、複数モジュールでの効率的な同時処理が可能です。フレキシブルチャンバー構成により、さまざまなプロセス化学物質を適用する機能を提供し、メンテナンスフリーの静的中和フィルターを内蔵しており、チャンバ内の汚染を低減します。このツールは、人間工学に基づいたデザインも備えています。様々な繊細な操作を行い、危険な光線から人々を保護するためのライトカーテンを装備しています。汎用性の高い設計のため、SEMITOOL 870Fは他のSEMITOOLプロセスモジュールと容易に統合し、包括的なエンジニアリングソリューションを提供します。さらに、870Fは複数の安全機能を提供し、生産中のダウンタイムと中断を削減します。最大4,000個のレシピを保存でき、最高品質の収量を保証する最適なプロセスパラメータを提供します。強力で直感的なソフトウェアで改善されたレシピは、簡単に研究、修正、保存することができます。全体として、SEMITOOL 870Fフォトレジスト資産は、幅広い用途における基板の高度な開発とストリップを容易にします。その複数の統合技術は、優れたパフォーマンスと信頼性を提供しながら、統合と運用を簡素化します。