中古 SEMITOOL 870F #151768 を販売中

SEMITOOL 870Fは、高精度フォトリソグラフィープロセスのための高いスループットと時間効率を提供するように設計されたフォトレジスト装置です。これは、大規模な基板を処理することができ、最も要求の厳しいフォトリソグラフィ用途のためのプロ品質の結果を提供しています。このシステムはモジュラー設計を備えており、ツールのより汎用性の高い使用を可能にします。このユニットの主な利点の1つは、最小限のメンテナンス要件です。このマシンは、セットアップ時間を最小限に抑え、手動で介入することなく、完全に自動化されたモードで動作するように設計されており、スループットの向上とコスト削減を可能にします。870Fツールには、複数の停留所がある蛇行軌道を特徴とする大径トラックが装備されています。このトラックは、強力な加速と減速を提供しながら、基板搬送時間を最小限に抑えるように設計されています。性能を最適化したモーターにより、積み下ろし時の正確で反復可能な動作を保証します。ステージは、最大600mmの移動距離で、アライメントおよび露出部位の正確な位置決めを可能にするように設計されています。このアセットは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、レシピを簡単にカスタマイズできます。このモデルは、基板認識、露出制御、プレートローディングなどの高度な機能を備えています。統合されたパターン認識ソフトウェアは、非常に複雑な「グリッド」露出の迅速なセットアップと制御を可能にします。SEMITOOLの870F装置はまた統合されたフォトレジストプロセッサを提供します。この機能により、ユーザーはシステムにロードする前にレジストコート基板を自動的に洗浄して乾燥させることができます。これにより、無駄なフォトレジスト材料を削減し、スループットと精度を向上させ、コスト削減を最大化できます。また、基板の迅速な積み降ろしを可能にするように設計されており、基板あたりの最大積載時間は0。3秒です。人間工学に基づいたヒューマンマシンインターフェイスにより、ユーザーの快適性を向上させます。さらに、統合されたプロセス監視ソフトウェアにより、すべての実行で一貫した信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。全体として、870Fは高精度フォトリソグラフィープロセスに最適な強力で高度なフォトレジストマシンです。時間効率とスループットの向上、高度な機能、最小限のメンテナンス要件を備え、コストを最大限に削減できます。