中古 SEMITOOL 870F/L #9266741 を販売中

SEMITOOL 870F/Lは、正確なコーティングとフォトレジストの開発を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。半導体やディスプレイなど、さまざまな用途に最適です。このシステムには、2段密度計、統合フォトレジストマッピングユニット、プログラマブルスプレーおよび処理パラメータ、および均一な基板カバレッジの自動速度制御などの高度な機能が搭載されています。基板全体で最大3。5％の均一性を発揮します。このツールには、フロントチャンバー（スプレーチャンバー）とリア、ラミナーフローチャンバー（ストリップチャンバー）の2つの加工チャンバが付属しています。スプレーチャンバーでは、両面スプレーアームを使用して、フォトレジスト材料を基板の両側に均等に供給します。液滴は、アプリケーションごとに微調整された独立した2つの独立したスピナーを介して渡されます。これは、基板全体にわたるフォトレジスト層の最適な均一性を達成するのに役立ちます。ストリップチャンバーは、フォトレジスト層の均一なクリーンダウンを基板に提供するために使用されます。このチャンバーには、フォトレジスト層の正確な除去を保証する層流技術が組み込まれています。このチャンバーには、すべての基板に対して適切なエッチング深度を可能にする高精度ノズルが装備されています。このプロセスはまた非常に反復可能であり、非常に正確な結果を保障します。870F/Lフォトレジストアセットには、信頼性と有効性を保証する一連の高度な機能も組み込まれています。このモデルは信頼性の高い密度計を備えており、フォトレジスト層の厚さを正確に測定することができます。さらに、統合されたマッピング装置は、フォトレジスト層の欠陥を正確に検出して追跡するのに役立ちます。これは、最高品質と再現可能な生産基準を確保するのに役立ちます。SEMITOOL 870F/Lフォトレジストシステムは、フォトレジスト処理に効率的なソリューションを提供する高度で信頼性の高い機器であり、さまざまなアプリケーションに最適です。このユニットに含まれる機能の組み合わせにより、フォトレジスト材料の均一な層、正確なクリーンダウン手順、および層の厚さの正確な測定が可能になります。これにより、プロセスが正確かつ一貫していることが保証されます。