中古 SEMITOOL 870D #84759 を販売中

SEMITOOL 870Dは、半導体ウェーハの加工に特化したフォトレジストシステムです。誘電性エッチング、フォトレジスト除去、ウェーハ洗浄プロセスに適しており、これらの用途には半導体業界で使用されています。870Dは、アグレッシブエッチングから精密エッチングまで、幅広いアプリケーションとプロセスに対応する高性能ソリューションを提供します。SEMITOOL 870Dには、2つの独立したプロセスモジュール、加熱されたPC制御ウェハチャック、加熱されたPC制御サンプルトレイ、UV洪水およびランプ入力、不活性ガス入力、クローズドループ処理制御など、いくつかの重要な機能が装備されています。870Dは、加熱されたPC制御ウェハチャックを使用して、均一な加熱とエッチング分布を確保し、粒子の汚染を最小限に抑えます。加熱されたサンプルトレイは、フォトレジストがウェーハに均等に適用されることを保証します。これにより、高いラッチアップとアスペクト比が保証され、欠陥の発生を低減します。UV洪水とランプは、エッチング前にフォトレジストを活性化するために使用されます。さらに、SEMITOOL 870Dには不活性ガス入力があり、回収量を改善し、汚染を低減します。870Dは、選択可能なエッチング速度と均一なエッチングを提供し、製造歩留まりを向上させることができます。さらに、SEMITOOL 870Dには、オンボードエネルギー監視、リアルタイムプロセスモニタリング、ポストエッチング解析、オンザフライ補正などのツールを使用したクローズドループ処理制御があり、正確で再現性が高く信頼性の高い処理を保証します。このデータは、プロセスが必要なすべてのパラメータ内にあることを確認するために使用できます。870Dは最新の半導体技術を提供し、高性能なフォトレジストシステムです。SEMITOOL 870Dの高度な機能と機能により、信頼性の高い効率的なワークフローを実現し、プロセスのスループットと歩留まりを向上させます。クローズドループのプロセス制御は、プロセスの整合性を確保するための強力で正確なソリューションも提供し、870Dは半導体製造に最適なソリューションです。