中古 SEMITOOL 870 #9265753 を販売中

SEMITOOL 870フォトレジスト装置は、フォトレジスト材料を用いたウェハ加工の自動化プラットフォームです。フォトレジスト（Photoresist）は、光に敏感なウェーハの表面に塗布され、リソグラフィーのパターンをウェーハの表面に転送するために使用できる化学コーティングです。870フォトレジストシステムは、精密なリソグラフィープロセスで高精度と生産性を提供します。これは、フォトレジスト材料の均一な層でウェーハをコートするヘリウムスピンコーターを備えています。スピンコーターは、ソフトウェア構成可能なスピン速度と温度制御レシピで設計されており、均一なプロセス結果が得られます。単位の精密なコーティングおよび均一な厚さは標準化プロセスの必要性を除去し、スループットを高めます。SEMITOOL 870は、電動のXYスパイダプロセスプラテンを備えており、スピンコーティング工程中にウェーハを正確に整列および制御します。また、ウェーハ表面にフォトマスクとハードマスクを正確かつ再現可能にアライメントするために、最大50nmの解像度を持つ低応力フォトマスクアライナーも搭載しています。このツールは、単一のビュープロセスレシピでプログラム可能な温度制御とプロセス監視を提供し、オペレータの相互作用を簡素化します。内蔵のドライポンピングアセットにより、別個の真空発生器が不要になり、露出カセットとマスクの手動交換が不要になります。また、光源トレンドへのアクセスを簡素化し、表面のシャドウステップを最小限に抑えながら、ウェーハ上の光の均質な露出を保証する空間フィルタも含まれています。870は生産の信頼できるプロセス制御そして柔軟性のために設計されています。このモデルは、あらゆるレジストタイプの幅広いウエハサイズと厚さに対応し、再調整なしで新しいプロセスレシピの変更に素早く適応できます。機器はメンテナンスが容易に設計されており、部品の交換はシンプルで端正です。また、複数のプロセス監視ツールが構成されているため、オペレータはプロセス状況をすばやく確認および検証できます。SEMITOOL 870は、正確で反復可能な生産を必要とするあらゆるフォトレジスト製造プロセスに最適です。均一なプロセスと高精度で、870は生産性と製造歩留まりの向上に努めています。したがって、フォトレジストの生産には貴重なツールです。