中古 SEMITOOL 870 #9139664 を販売中

SEMITOOL 870フォトレジスト装置は、金属、セラミックス、シリコンなど、さまざまな基板材料のエッチングおよびパターニングプロセスのための効率的で信頼性の高いツールです。このシステムには、Reactive Ion Etch （RIE）機能を備えた信頼性の高いメンテナンスフリーの10インチ温度制御プラッタが装備されています。870は、反応性ガスの組み合わせを利用して、材料中のフォトレジストパターンを電気的および磁場でエッチングし、エッチング工程で顕著な精度と速度を可能にします。非接触式物理蒸着（PVD）ユニットにより、レジストマスク蒸着のタイミングと密度を高めて制御できます。SEMITOOL 870では、NiFe、 SiC、 Nb、 Tiなど様々な基板を処理することができ、幅広い用途に適しています。870には、6つのプログラマブルゾーンと最大6つのユーザー定義レシピを備えた組み込みのプログラマブルコントローラも付属しています。プラッタの一部を所望の温度に再加熱することができ、プロセスの迅速な再現性が得られます。SEMITOOL 870の精度は、熱機械的に強化されたメカニカルディスペンスバルブによってさらに向上し、ショットツーショットのバリエーションを最小限に抑えた信頼性の高いディスペンス性能を提供します。また、マスクの自動搬送と装填、高度に設定可能なエッチングとフォトレジストメッキのレシピ、連続的なガス流量監視、レーザー計測、排水タンク、最大10個のコンテナを備えた堅牢なレジストステージなどのオプションも備えています。金属やケイ酸塩ベースのレジストなど様々なレジスト材料を使用することができ、マルチアプリケーションプロセスでレジストを変更する必要がありません。さらに、870のクイックアライメント機能により、基板と基板のアライメント時間が最小限に抑えられます。SEMITOOL 870は、コスト効率に優れ、信頼性が高く、高度なフォトレジストツールで、幅広い製造プロセスをサポートし、高品質のエッチング資産を探している人に最適なソリューションです。