中古 SEMITOOL 870 #84266 を販売中

SEMITOOL 870は、先進的な半導体用途に特化した高性能フォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）は、光などの放射線にさらされてパターンやその他の構造を作る化学物質です。870はフォトレジストフィルムの効率的かつ正確な処理を提供します。SEMITOOL 870システムは、フォトレジスト加工に優れた精度と再現性を提供します。その三軸ステージは、基板とフォトレジストの非常に正確な位置決めと動きを提供し、最高レベルのプロセス制御で迅速で均一なカバレッジを可能にします。このユニットは、各プロセスのカスタムコントロールパラメータを使用して、幅広い処理技術を可能にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスは、レシピのプログラミングをサポートし、簡素化します。その6つのチャンバー設計は、冗長な安全冗長性とメンテナンスと高度な処理のためのガスの種類の増加を提供します。その高度なUV照明ソースは、非常に低い迷光レベルで最適化された画像とパターン品質を提供します。870は高度なソフトウェアを使用して、設計レイアウトに正確にマッチする正確で反復可能なフォトマスクを提供します。また、高いスループットと複数の基板を同時に操作できる機能を備えています。SEMITOOL 870は、高精度で複雑なフォトレジスト処理に最適なソリューションです。それはパターン変数および露出時間を正確に制御するフォトレジストのフィルムの速く、信頼できる処理を提供します。高いスループットと正確な生産サイクルにより、ダウンタイムを最小限に抑えながら歩留まりとコスト削減を実現します。高度な機能性と堅牢な構造を備えた870は、半導体フォトレジスト用途に最適です。その正確な制御、短いサイクルタイム、高スループットにより、フォトレジスト処理の信頼性と効率性に優れたソリューションです。