中古 SEMITOOL 860S #9265752 を販売中

SEMITOOL 860Sは、高性能、柔軟性、信頼性を提供するフォトレジストストリッピングおよびコーティングシステムです。ハイエンド半導体業界のニーズに応えるよう設計されています。このシステムは、優れた空間均一性、高いスループット、優れた稼働時間、メンテナンスの容易さ、他のシステムとの統合など、機能と機能の完全なスイートを提供します。860Sの主要なプロセスチャンバーには800リットル近くの容積があり、プラズマチャンバー全体で優れた均一性を提供するのに役立ちます。チャンバーは4つの側面すべてで絶縁されるように設計されており、チャンバー内の均一な温度を確保するのに役立ちます。これにより、レジストレイヤーを基板に一貫して適用できます。チャンバーはまた、プロセスが迅速かつ正確に実行されることを確認するのに役立ち、精密かつ一貫した圧力制御を可能にするように設計されています。SEMITOOL 860Sには、製造プロセス中に困難なフォトレジストを簡単かつ効率的に除去できるオンボードレジストストリップステーションがあります。その高度なデュアルヘッドストリッピング機構は、酸化物溶解溶剤を使用し、基板の損傷を軽減するように設計されています。また、レジスト層を迅速に適用するためのスピンコーティングステーションを内蔵しており、正確な均一性と高スループットを実現しています。このシステムには、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なグラフィカルコントロールが付属しており、すべてのプロセスを設定および実行するプロセスを簡素化します。860Sは他のシステムと容易に統合することができ、容易なオートメーションおよび接続性を可能にします。全体として、SEMITOOL 860Sは、ハイエンド半導体業界のフォトレジストコーティングおよびストリッピングのニーズに最適なソリューションです。優れた均一性、高スループット、およびユーザーフレンドリーなインターフェースにより、あらゆる半導体メーカーが利用しにくいという利点がたくさんあります。