中古 SEMITOOL 860S #9137504 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 9137504
Spin rinse dryer, up to 5"
102 Controllers, Digital,
Non-Contact Labyrinth Rear Bowl Shaft Seal
Brushless Motor
Rotors (2) up to 5”
Electro polished Bowl
Polypropylene Cabinet “ Aero Style”
Resistivity
Static Eliminator
Particle counts < 25 at 0.3 micron
(2) Rotors
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 860Sは、集積回路(IC)およびその他の半導体ウェーハの処理に使用される完全自動フォトレジストストリップ装置です。このシステムは、ウェーハ製造設備などの制御環境で高い生産性を得るために設計されています。IC上のフォトレジストの厚さ層を正確に特定するための非常に正確なユニットを備えています。860Sは鋳造アルミニウムフレームから組み立てられ、その上にメインプロセスモジュールが取り付けられています。このモジュールは、ウェーハの上部からフォトレジストを除去するために加熱メディアが循環する一連のチャネルで構成されており、残りのフォトレジストは浮き彫りになります。チャネルは一貫した結果を保障するために均一な温度を提供しガス圧力は均一な適用範囲のために調節することができます。このマシンはまた、ツールを制御し、さまざまなフォトレジストリッププログラムを提供する独自のソフトウェアを備えています。このソフトウェアには、障害や外部干渉から資産を保護するために設計された多数の安全機能が含まれています。また、オペレータの要件に合わせてモデルをさらに調整するためのさまざまなオプションも提供します。SEMITOOL 860Sはまた、過熱が損傷と悪い結果につながる可能性があるため、チャンバー内のフォトレジストの温度を維持するために特別に設計された冷却モジュールを備えています。冷却モジュールは、オペレータが所望の温度範囲を設定するだけでなく、圧力、放射熱、および大気汚染物質などの他の幅広い条件を設定することができます。全体として、860SはICなどの半導体部品の生産において最適な性能を得るために設計された革新的なフォトレジスト装置です。精密な制御、温度範囲、圧力レベル、安全機能を組み合わせることで、ハイテク生産に最適です。システムは高度にプログラム可能であり、オペレータは最適なパフォーマンスのために設定と結果をカスタマイズすることができます。
まだレビューはありません