中古 SEMITOOL 860S #16794 を販売中

SEMITOOL 860Sフォトレジスト装置は、完全に自動化されたリールからリールへのウェット処理システムです。精密かつ再現性の高いプロセスを必要とする、微細な形状を持つ半導体デバイスの大量生産用に設計されています。860Sユニットはモジュラープラットフォームをベースにしており「、ストリップ、クリーン、スピン/除去、乾燥」プロセスを含む幅広い処理を1台のマシンに統合することができ、大量のスループットを必要とするアプリケーションに効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。このツールには、ステンレス製のベルトコンベア、手動または光学アライメント、メッシュまたはエプロンのパーティション、およびプロセス制御ユニット、ソフトウェア、ポンプ、タンク、フィルターからなるメインモジュールが含まれます。アセットには追加の「ドライヤーモジュール」が用意されています。このユニットは、オンボードセンサーと自動制御を使用して、フルプロセスオートメーションを可能にします。このモデルには、絶縁処理、バッチモード設定、さまざまな基板とプロセスの組み合わせのためのプログラム可能な設定も備えています。SEMITOOL 860S装置は、残りのフォトレジスト層のエッチングおよび/または堆積中のプロセスを最適化および制御するように設計されています。このシステムは、基板を正確に輸送し、正確に整列させ、必要な化学物質を基板の必要な領域に正確に配分するように構成することができます。このユニットは、低化学量を利用して、コストと廃棄物を削減します。オンボードセンサーは、化学濃度とパラメータを調整するためのリアルタイム制御と監視を提供し、最適なプロセス結果を可能にします。半導体デバイス860S製造におけるフォトレジスト加工の再現性と信頼性を提供します。基板材料の高速加工によりコスト削減を実現し、メンテナンスやサポートも容易に行えます。