中古 SEMITOOL 860S #151778 を販売中

SEMITOOL 860Sは、幅広い半導体製造アプリケーションに迅速、正確、信頼性の高いリソグラフィを提供するフォトレジスト加工装置です。このシステムには、精密電動ウェーハステージ、クローズドループ温度制御、フォトレジスト最適化機能が含まれています。860Sは、大判アルミヒートシンク、真空チャックユニット、精密電動ウェーハステージを備えた600 x 800mmの大型精密パネルベースを備えています。Cambridge ESI 4560アドバンストコントローラは、プロセスパラメータとデータの制御、監視、表示を処理します。UMPCの動的サーボ制御により、安定したプロセスと高スループットが保証されます。SEMITOOL 860Sは、正確で反復可能なプロセス温度を提供するクローズドループ温度制御で設計されています。パイロメータと熱電対の配列により、ウェーハ温度のリアルタイム監視が可能になり、プロセスの再現性が保証されます。IRBAPF10は、電動ウェーハステージへの光学フィードバックを提供し、正確なウェーハレベリングとアライメントを実現します。機械の高度なオートメーションは、自動プリコーティング、コーティングプロファイル、レジストストリッププロファイルなどのさらなるプロセス最適化を提供します。ウエハハンドリングやソートにも高度な基板ハンドラが採用されています。このツールは、長時間信頼性の高いパフォーマンスを保証するために、ケアとメンテナンスを自動化することもできます。860Sは、精度、速度、精度により、半導体製造プロセスのリソグラフィ用途に最適です。SEMITOOL 860Sは、さまざまなプロセス制御機能と自動化されたツールを備えており、半導体レジスト処理において信頼性が高く、正確で経済的な選択肢であることが証明されています。