中古 SEMITOOL 860S #133030 を販売中
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ID: 133030
Spin Rinse Dryer (SRD)
PSC 101 controller
Servo motor, brushless
Can configure tool with anti-static
DI water resistivity option included
Water recirculation option included
New rotors are available (2 are needed).
SEMITOOL 860Sは、フォトリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器ソリューションです。この製品は、半導体業界で基板やLEDチップなどの集積回路部品の製造に使用されています。このシステムは、大量のフォトレジストを迅速かつ効率的に処理することができます。860Sユニットは、回転プロセスタンクとオーバーヘッド蒸着機の2つの主要コンポーネントで構成されています。プロセスタンクには、スプレーガン、スクラビングワンド、真空ジェットが装備されており、タンク内のフォトレジストを操作するのに役立ちます。また、フォトレジストの汚染を防ぐための自動洗浄サイクルも備えています。オーバーヘッドツールは、ジェット蒸着プロセスを使用してフォトレジストを基板に堆積させます。ジェットは、基板に沿ってフォトレジストの均一な位置決めを可能にします。アセットには、タッチスクリーンディスプレイと統合ソフトウェアモデルを備えたコントロールインターフェイスも含まれています。これにより、ユーザーは希望する結果を得るためにフォトレジストプロセスを正確に監視することができます。インターフェイスはまた、プロセスパラメータを更新し、結果を追跡するために機器からフィードバックを収集します。SEMITOOL 860Sシステムは、高い歩留まり製造速度と優れた均一性を提供します。また、プロセスタンクのコンポーネントはその場で組み立てられているため、工具を最小限に抑える必要があります。単位はまた特定のプロダクト条件のための事前に定義された調理法に続くようにプログラムされます。さらに、すべてのコンポーネント860S独立して監視し、最高の作業順序で保管できるため、メンテナンスが容易です。また、耐腐食性材料から構成され、防塵のための完全に囲まれたカバーを持っています。このマシンは他のSEMITOOLシステムとインタフェースすることで、複雑さと機能を高めることができます。SEMITOOL 860Sは、半導体業界で広く使用されている強力で効率的なフォトリソグラフィーツールです。この資産は、高収率と均一な堆積物を生成することができる一貫した最適化されたフォトレジストソリューションを提供します。直感的なユーザーインターフェイスと自動化されたプロセスにより、860Sはフォトリソグラフィの信頼できるツールです。
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