中古 SEMITOOL 860F #84179 を販売中

SEMITOOL 860Fは、主に半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムには、フォトヘッドとカスタムロボットアームが含まれており、マスクと基板配置を正確に制御し、非常に小さく複雑なパターンのフォトレジストコーティングを均一かつ効率的に行うことができます。また、4段階の冷却トレイや加熱溶剤トレイ、スピンコート、スプレーコート、ウェハ温度、圧力などの可変条件のリアルタイムモニタリングなど、さまざまなオプションを提供しています。860F機械は、Methylisobutylketone （MIBK）や2-Methylisobutylketone （MIBK II）、ポリイミド、ポリウレタン、シリコンオキシニトリド溶液などの高固体システムなどの溶媒プロセスをサポートすることができます。このツールはまた、静電気、さまざまなノズル穴サイズ、均一な流れ、および低エアロゾル形成などの高度な噴霧技術を提供しています。この精密制御により、透過性のある接触層などのコーティングが困難な特徴や、SRAMメモリセルなどの小さな特徴や回路構造をパターン化する信頼性の高いコーティングが可能になります。さらに、SEMITOOL 860Fはプロセスの均一性を向上させるための低k値ディスペンサーを備えており、高度な制御によりプロセスの最適化が容易になります。このアセットは、0。18umから5umまでの機能サイズにも対応しているため、マスクの手動配置が不要です。860Fは、2段ベーキングオーブン、調整可能なガスパージ、低ESD構造などの安全機能を備えているため、信頼性が高く安全なフォトレジストプロセスツールです。要約すると、SEMITOOL 860Fは、最も先進的な半導体製造プロセスに適した、複雑なパターンと繊細な機能のコスト効率が高く、信頼性が高く、高解像度のパターニングを可能にするように設計された堅牢なフォトレジストモデルです。