中古 SEMITOOL 860 #9265751 を販売中

SEMITOOL 860は、半導体デバイスの製造に使用するフォトリソグラフィ用途を可能にするように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトマスクアライナー、スピンデベロッパー、スクラバー、トラックの4つのコンポーネントで構成されています。フォトマスクアライナーは、ウェーハにパターンを読み取り、整列し、投影する光学ツールで構成されています。1umまでの精度でパターンを読み取ることができ、ユーザー調整可能なパターン定義と露出時間を備えています。860のスピン開発者機能は、遠心力を利用して、ウェーハ表面にレジストフィルムの層を迅速かつ正確に堆積させます。これにより、プロセス速度と精度が向上し、大容量と小容量の両方の用途で材料を節約できます。スクラバーは、開発プロセスの後にウェーハからの余分なフォトレジスト材料の除去を容易にします。スクラバーには、ブラシドラム、ソフトブラシ洗浄用、パドルローラーが装備されており、より積極的な洗浄が可能です。どちらも静電場を使用して不要な材料を引き付けて除去します。ユニットの最終コンポーネントはトラックです。トラックはフォトリソグラフィーのプロセスを監視し、制御するように設計されています。これは、プロセスの効率と精度を最大化するために、ウェーハの動き、時間、温度、およびその他のパラメータを追跡する一連のセンサと電子部品で構成されています。結論として、SEMITOOL 860は高効率で信頼性の高いフォトレジストマシンであり、高速かつ正確なフォトリソグラフィを可能にします。効率的な生産とコスト削減を容易にするフルスイートのコンポーネントをユーザーに提供します。