中古 SEMITOOL 860 #9265750 を販売中

SEMITOOL 860 Photoresist Equipmentは、CMP、蒸着、エッチング処理に使用されるフル機能の電気化学蒸着システムです。精密で高解像度のフォトレジスト層を必要とするプロセスの品質とスループットを向上させるように設計されています。手動洗浄や成膜後の洗浄工程を必要とせず、均一で滑らかなフォトレジスト層を生成することができます。これは、濡れ、平準化、および表面の均一性を最適化するための洗浄環境を提供する液浸タンクユニットを使用することによって可能になります。このマシンは、基板をスキャンしてプロセスパラメータを最適化し、均一なフォトレジストコーティングを保証する自動リアルタイム検出と補償機能を備えています。これにより、さまざまな基板タイプに関係なく、一貫した結果が保証されます。このツールには、2段階のスピンコートシルバーハライドフォトレジスト（90°-180°）とシングルステップスプレーアプライドフォトレジストの両方が搭載されています。これにより、アプリケーションに最適なフォトレジストタイプを選択する際の柔軟性が向上します。860には、新しいプロセスの迅速かつ簡単なプロトタイピングと特性評価のためのコンピュータ制御プロセス開発センターが含まれています。強力なグラフィカルプログラミングインターフェイスを使用して、完全に自動化された操作のための詳細なプロセス手順を迅速かつ簡単に構成し、他の重要なタスクの時間を解放します。要するに、SEMITOOL 860は、一貫した品質と最大スループットで高解像度のフォトレジスト層を生成するように設計された、強力でユーザーフレンドリーなフォトレジスト資産です。その高度な機能により、要求の厳しいCMP、蒸着、エッチングプロセスに最適なソリューションです。