中古 SEMITOOL 840S #9088736 を販売中

SEMITOOL 840S Photoresist Equipmentは、半導体ウェーハやその他の基板の超精密リソグラフィ処理を提供するために設計された先進的な装置です。これは、高性能で一貫した製造技術を可能にする広範な機能のセットを提供します。840Sは、ダイレクトドライブ、オーバーヘッド自動コーティング、および幅広いフォトレジスト用途に対応できる開発ソリューションです。優れたエンジニアリングにより、局所変動を低減し、直径3〜12インチの半導体ウェーハの処理を可能にします。直感的でユーザーフレンドリーな設計により、設置、操作、使用、メンテナンスが簡素化され、堅牢な材料と構造により、今後数年間の耐久性と信頼性が保証されます。SEMITOOL 840Sフォトレジストシステムには、マスキング装置、内蔵の電気発電機、真空コントローラ、ウェットベンチ、およびアセンブリ全体を操作するための強力なソフトウェアスイートが含まれています。このユーザーフレンドリーなユニットにより、技術者は手動プロセスに必要な時間のほんの一部でフォトレジスト処理手順をプログラムまたは調整できます。処理ステップには、自動パターン認識、乾式および湿式スピンコーティング、プレベーキング、露出、ポストベーキング、開発、レジストストリッピング、および残留除去が含まれます。840Sはまた、負および正の抵抗を処理する能力を含むほとんどの抵抗材料全体で最高のプロセス性能を確保するための診断のフルセットが含まれています、そして、betweenspinまたは蒸発スピンコーティングを選択するオプション。欠陥や汚染を検出するために、ウェーハの歩留まりを最大限に確保するために、可視、紫外線、赤外線イメージングが使用されます。この機能は、即座に問題を特定して修正するのにも役立ちます。さらに、SEMITOOL 840Sは安全性を考慮して設計されており、ウェーハの存在を検出できる4つの統合安全センサーを提供し、ウェーハの落下やオーバーピンを防止します。最後に、マシンは必要に応じて技術支援を提供するマルチレベルのサービスプランによってサポートされています。840Sフォトレジストツールは、プロの半導体製造のための信頼性の高い効率的なソリューションです。