中古 SEMITOOL 840S #84177 を販売中

SEMITOOL 840Sは、今日の半導体産業の要求に応えるために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジスト処理において最高の精度と精度を提供し、ダウンタイムを最小限に抑えた高性能な結果を提供するように設計されています。840Sは直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユニットを簡単に制御し、レシピ管理を改善します。このマシンには、マイクロスクラバーを内蔵した研磨プラットフォームと、再現可能な精度とウェーハの位置決めのための多軸ウェーハトランスファーアームが含まれています。このツールには、熱ドリフトを低減し、高温で処理する際のモデル性能を維持するためのペルチェ冷却アセットが装備されています。SEMITOOL 840Sフォトレジスト装置は、多波長レーザーシステムを使用してフォトレジストのプロセスを正確に制御します。このユニットには、異なる波長でフォトレジストをパターン化するための独立した制御を備えた長波および短波レーザーの両方が含まれています。このマシンはまた、最高のフォトレジストパターニング結果を達成するために正確な位置精度とプロセス変数を提供するBoschプロセスモジュールを備えています。840Sは一貫した結果を保障するために作り付けの安全特徴と設計されています。このツールには、モデル内のクリーンな空気環境を維持し、ウェーハ上のほこりや破片の収集を防止する大気制御資産（ACS）が装備されています。さらに、フォトレジスト装置には、レーザー照射を監視し、放射線の拡散を制限するRCS （Radiation Containment System）があります。SEMITOOL 840Sは、フォトレジストユニットの遠隔監視と制御を容易にする高度なソフトウェアコマンド言語（SCI）を備えています。SCIは、データ収集と分析、改善されたレシピ管理、アラーム通知機能への容易なアクセスを可能にします。さらに、このマシンは100以上の事前にプログラムされたレシピを実行することができます。840Sはあらゆる半導体製造装置のための優秀なフォトレジスト用具です。高精度、高精度、再現性により、ユーザーはウェーハが最も厳しい業界仕様に適合することを保証できます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと幅広い安全機能により、SEMITOOL 840Sはあらゆるフォトレジスト加工作業において安全で信頼性の高いオプションです。