中古 SEMITOOL 840F #151787 を販売中

SEMITOOL 840Fはフォトレジスト用の高度なスラリー処理装置です。このシステムはフォトレジストの開発、フォトリソグラフィ、エッチング、洗浄プロセス向けに設計されており、さまざまな半導体アプリケーションに適しています。このユニットは、精密計量機と高度なボリュームコントロール機能を備えており、正確で繰り返し可能なスラリーのアプリケーションを可能にします。これにより、生産性が向上し、信頼性が向上し、サイクル時間が短縮されます。堅牢な制御プラットフォームにより、正確で反復可能なフォトレジストコーティングとリンス機能が保証され、信頼性と一貫した結果が得られます。840Fには4つの高性能レジスト分散ポンプが装備されており、一貫した薄膜のレジストの均一な分布を可能にします。このツールには温度制御された配信資産もあり、正確な薄膜コーティングのために正確な温度と粘度に耐えることができます。このモデルにはデュアルアクションバレル攪拌が搭載されており、フォトレジストスラリーを正確に混合することができ、均一性と再現性が向上します。さらに、デュアルパススルーウォッシュ機能により、レジストコーティングの均一性が向上し、手動のフラッシュステップが不要になります。SEMITOOL 840Fは、頑丈なアラーム装置を使用して設計されており、コンポーネントが許容誤差またはシステム障害が発生した場合にオペレータに警告します。また、自動セルフキャリブレーションと流体レベルセンサーを備えているため、手動キャリブレーションなしで正確な状態を維持できます。この機械の設計により、粒子の汚染を最小限に抑え、メンテナンスとダウンタイムを削減し、工具の稼働時間と製品の可用性を延長できます。プラットホームはまたカスタマイズ可能な操作を可能にするさまざまな化学薬品およびスラリーの公式と互換性があります。840Fは、多くの半導体アプリケーションに適したフォトレジスト用の高度なスラリー処理アセットです。業界をリードする設計により、高精度の計量、デュアルアクションバレル攪拌、デュアルパススルーウォッシュ機能、温度制御デリバリーモデルが提供され、最高の効率、再現性、信頼性が保証されます。