中古 SEMITOOL 840 #9185719 を販売中
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SEMITOOL 840は、半導体業界で最も要求の厳しいアプリケーションを満たすように設計されたフォトレジスト機器です。それは堅いフレームおよび温度制御されたエンドエフェクターと大きい表面積のフォトレジストか他の化学化合物の快適で、正確な沈着を保障するために造られました。840のプロセス部屋は一定した大気圧力および温度で保たれ、高級なプロダクトの生産のための安定した環境を作成します。この装置は、温度制御された回転エンドエフェクターを備えており、材料を微細で排出することができ、最大100リットルの反応剤または複合材料を保持することができるプロセスチャンバーがあります。このシステムは、異なる温度、圧力、および時間枠を達成するように構成することができ、フォトレジスト特性を正確に測定することができます。エンドエフェクタは、さまざまな基板用の広範囲のノズル径をマウントし、基板からの間隔を調整して望ましい蒸着厚を提供します。SEMITOOL 840にはデジタルコントロールパネルがあり、フォトレジストの沈着を最適化するための動作パラメータを素早く調整できます。また、圧力とプロセス消耗品の両方を高精度で再現可能な測定を提供します。このユニットには、特許取得済みの熱電対ベースの測定機が装備されており、オペレータは蒸着プロセスをリアルタイムで正確に監視および調整することができます。840は広範囲のテストに服従し、精密な沈殿およびサンプル測定が可能です。フォトレジストやその他の化合物を高速かつ高精度に堆積させるのに最適なソリューションであり、半導体グレード製品の生産時間が短く、高品質な歩留まりを実現します。その信頼性の高い操作と自動化された安全機能により、幅広い要求の厳しいアプリケーションに適しています。
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