中古 SEMITOOL 840 #20068 を販売中
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SEMITOOL 840は、主に半導体、MEMS、 LEDアプリケーションで使用されるVisionプラットフォーム上に構築されたフォトレジスト機器です。このシステムは、最適化された低コストのフォトレジストユニットを使用して、サイクルタイムを短縮し、運用コストを削減し、プロセスの均一性を向上させます。840は、フォトレジスト加工やその他の表面処理のウェーハ用途において、精密で再現性のある正確な結果を得るために設計されています。1つの基板から次の基板までの均一性と再現性を提供し、ユーザーが高い歩留まりを達成し、パフォーマンスを向上させることができます。この機械は、フォトレジストプロセスの正確な測定と制御を利用して、プロセスの歩留まりを改善し、全体的なコストを削減します。SEMITOOL 840ツールはVisionプラットフォーム上に構築されており、ビジョンガイドロボティクス、高度なユーザーインターフェイス、運用のための包括的なソフトウェアパッケージなど、さまざまな制御システムを統合しています。ビジョンプラットフォームの包括的な制御および診断ツールは、プロセスのパフォーマンスと歩留まりを向上させます。高度な分析機能により、ユーザーは迅速かつ簡単に結果を確認できます。840アセットには、プロセスのすべてのポイントを監視および制御するための高度にインスパイアされた管理モデルもあります。SEMITOOL 840管理機器を使用すると、歩留まり、スループット、およびスループット履歴を追跡し、各プロセスポイントをリアルタイムで調整できます。840は、手動または自動プロセスの広い範囲を提供し、特殊なプロセスのカスタマイズを可能にします。これらの効果には、ブラックアウト、ライトオン/ライトオフ、マルチスピン、カウンターローテーション、ウェハースキャンなどがあります。SEMITOOL 840は、迅速なレシピ変更のために設計されており、ユーザーは小規模または大規模のあらゆるタイプのジョブを実行することができます。840フォトレジストシステムはモジュラー設計を提供し、ユーザーはシステムを拡張し、特定のニーズに合わせてレイアウトをカスタマイズすることができます。SEMITOOL 840には、既存設備への統合を容易にするための包括的なコンポーネントとレイアウトも含まれています。840は、歩留まりを最大化し、スループットを向上させるさまざまなサービスを提供し、ユーザーの予算内での滞在を支援します。このユニットには、反射防止多層蒸着、低誘電率エッチング、プラズマエッチングおよび蒸着などのアプリケーションのオプションも含まれています。SEMITOOL 840は、多面的な機能、費用対効果の高い操作、および統合されたサポートにより、半導体、MEMS、およびLEDアプリケーション向けの主要なフォトレジストマシンです。
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