中古 SEMITOOL 8300S #9160072 を販売中
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ID: 9160072
Spin rinse dryer (SRD)
Capable of process up to 8"
High profile cassettes
Dual stack
Included:
Class 10 poly
Quick disconnect rotor
N2 rear seal.
SEMITOOL 8300Sは、半導体業界のウェーハ加工用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、正確なフォトレジストスピンコーティングとその後の乾燥を提供し、さらに薄膜の正確な計測を提供します。これにより、光検出器などの高度な光電子デバイスの製造が可能になります。全体的なユニットは、温度制御スピンステーション、真空制御オーブン、優れたビジョンベースのイメージングサブシステム、洗練されたソフトウェアなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。SEMITOOL 8300 Sは、遠心モーションドライブと低ドラッグエアベアリング/ターンテーブルを使用して、高解像度の回転と正確な速度制御を実現します。高性能の真空オーブンは均一な乾燥および水晶成長をスピンパターンの優秀な均等性および改善されたコーティングの厚さを提供します。イメージングマシンはエッチングされた特徴の正確な検出を提供し、不均一性または汚染の識別を可能にします。さらに、8300-Sは自動制御と最適化アルゴリズムを備えた統合ソフトウェアを組み込んでいます。8300 Sは、高精度、高精度、およびそのプロセスの柔軟性を提供します。精密スピンコーティングは、20〜1800rpmの広範囲のコーティング速度、大幅なレベリング強化、高速コンプレッサによる振動制御の向上により実現されています。さらに、このツールは正確な計測測定を提供し、製品の仕様に準拠し、高い歩留まりを保証します。柔軟性は、SEMITOOL 8300-Sの重要な機能でもあり、これは高度にカスタマイズ可能なソフトウェアによって有効になります。直感的なユーザーインターフェイスにより操作が簡素化され、プロセスとレシピのセットアップを簡単に変更できます。障害検出と回復機能により、予期しないイベントが迅速かつ正確に処理されます。要約すると、8300Sは半導体業界のアプリケーションに優れた性能と信頼性を提供します。その低ドラッグエアベアリング/ターンテーブル、正確な速度制御、優れたビジョンベースのイメージング、統合されたソフトウェア、および高精度の計測測定により、大量の高品質オプトエレクトロニクスコンポーネントの製造に最適です。
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