中古 SEMITOOL 8300S #9155202 を販売中
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SEMITOOL 8300Sフォトレジスト装置は、半導体製造で使用される自動リソグラフィープロセス用に設計された精密機械です。モジュラーアプローチで設計されたこのシステムは、さまざまなチップ生産アプリケーションの個々のニーズを満たすように簡単に構成できます。SEMITOOL 8300 Sユニットは、プログラミングの柔軟性、プロセス制御と均一性、およびリモートアクセス機能を確保するために、Windowsベースの制御マシンによって駆動されます。これは、高度な露光源とズーム光学を含み、高解像度の微細な機能の印刷を可能にするためにウェーハの表面の操作を可能にします。このツールには、クロスプラットフォームのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたソフトウェアスイートが装備されており、最小限のプログラミング時間でフォトレジストプロセスの開発と最適化を可能にします。このツールセットは、プロセスの最適化のために設計されており、最新の集積回路設計に対処する際には、望ましい機能サイズを認識する能力は非常に貴重です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、自動パターニングに最適です。安全性と生産性の面では、このモデルは堅牢な安全プロトコルを保証します。ウェーハプレゼンスセンサーなど、多くの安全機能を備えており、高い光強度への暴露から保護するように設計されています。さらに、デポジット検出機能を備えたデュアルマテリアルバルクローディング装置と、人員を危険なプロセス条件から遠ざけるアイソレーションバイザーを備えています。このシステムは、25cm x 25cmの表示領域で効率的なリソグラフィープロセスを提供するように設計されています。これは、フィールドサイズの自動切り替えと倍率容量の選択を可能にするフィールドスイッチャーを備えています。真空ウェーハクランプ、自動エッジアライメント、冷却ジャケットなど、8300-Sで多数のオプション機能を利用できます。これらを組み合わせることで、ユニットのパフォーマンスをさらに向上させることができます。SEMITOOL 8300-Sは、幅広いチップ生産アプリケーションに理想的なマシンであり、フォトリソグラフィの業界標準を表しています。複雑なチップやボードを効率的に生産するための柔軟性、精度、最適化されたプロセス制御を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度なプロセス機能により、ハイエンドのチップ生産プロセスで再現性と信頼性の高い結果を達成するための重要なコンポーネントとなります。
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