中古 SEMITOOL 8300S #9155196 を販売中

SEMITOOL 8300Sは、最先端のフォトレジスト加工に使用されるフォトリソグラフィ機器です。このシステムは、高真空、低バックグラウンド、マルチビーム技術を独自にブレンドし、複雑なパターンを無制限に基板にパターン化するための正確で信頼性の高い効率的なプロセスを提供します。垂直に取り付けられたSEMITOOLチャンバー、高圧反射乾燥機、マルチビームプロジェクターなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。また、薄い線、リソグラフィ素子、高分解能基板をパターン化するための低エネルギー可変パルス波技術も備えています。これらのすべては、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えた直感的なコントローラによって制御および監視されます。マルチビームフォトリソグラフィーツールは、425 nmのUV波長でプロジェクトし、4。5 μ mピッチと最大40 μ mピッチの300 μW/cm2で最大8インチの基板を露出することができます。これにより、薄い層、異なるフォーカス設定のデュアル露光、コンタクトホール形成用のレジスト形状の定義、カスタムサイズのレチクルなどの高解像度フォトレジストプロセスを作成できます。また、薄いラインや要素の特性を維持して焦点深度を向上させ、処理時間を増加させ、パターン登録を改善する機能も備えています。超高真空チャンバは、≤ 1 x 10-6 Torrのベースプレッシャーを維持するように設計されており、さらに汚染を低減するのに役立つ自動ターボポンプ速度制御ユニットを備えています。高精度のステージにより、高圧でも基板の正確で再現性の高い位置決めと配置が可能です。低背背景SEMITOOL 8300 Sは、業界標準に準拠した無臭で環境に優しいプロセスを備えており、オゾン安全です。環境に優しい超高電圧ソースを使用して光学ツールの電源を供給します。また、アセット内に迷光が入るのを防ぎ、露光時間を増やすのに役立ちます。全体として、8300-Sはフォトレジスト処理のための効率的で信頼性の高い高品質のソリューションです。その高度なデザインとユーザーインターフェイスは、使いやすく、高い精度と再現性を維持するのに役立ちます。その結果、半導体製造、医療機器製造、バイオテクノロジーおよび製薬アプリケーションの業界で広く使用されています。