中古 SEMITOOL 8300S #9119732 を販売中

SEMITOOL 8300S Photoresist Equipmentは、フォトリソグラフィのための高度で信頼性の高いツールです。半導体・MEMS業界向けに設計されており、リソグラフィ加工時のフォトレジスト加工が可能です。このシステムは温度とベーキングプロセスを最適に制御できるため、堅牢なプロセス制御と監視機能を提供します。このユニットは非常に効率的で、クイックサイクルタイムと最小限のフットプリントを備えています。SEMITOOL 8300 Sは、加熱された真空チャック、自動化されたウェーハ転送機、および複雑なフォトレジスト処理を可能にする専用のX線およびUV照明ツールを備えています。また、薄型化、深度制御の強化、粒子の変動の最小化、薄膜の応力の最小化など、幅広い処理要件を満たすように設計されたプログラム可能な大気制御アセットも備えています。このモデルには、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーン制御を備えたマイクロプロセッサベースのコントローラも含まれており、すべての機器機能を効率的かつ信頼性の高い制御を提供します。8300-Sにはプロセスモニタも含まれており、すべてのプロセスをリアルタイムで長期的に監視するだけでなく、システムロギングユニットも備えており、ユーザーは各プロセスで収集されたデータを正確に記録、分析、レポートすることができます。また、複数のレシピストレージ機能を備えており、ユーザーは最大32のレシピを保存およびリコールできます。圧力、温度、その他の重要なパラメータを監視し、安全で信頼性の高い操作を保証する統合安全システムにより、マシンのパフォーマンスがさらに向上します。このツールは簡単に設置できるように設計されており、床面積を最小限に抑える必要があり、オペレータは汎用性と柔軟性を備えています。全体として、8300S Photoresist Assetは高度で信頼性の高いリソグラフィーモデルであり、効率的で信頼性の高いフォトレジスト処理を提供し、半導体およびMEMS産業に最適です。