中古 SEMITOOL 8300S #293755283 を販売中

SEMITOOL 8300Sは、多種多様な基板に精密なエッチングと成膜結果を提供するために設計されたフォトレジスト加工装置です。高度なプロセス制御を提供し、高品質の結果とあらゆるバッチで一貫したプロセス時間を実現します。SEMITOOL 8300 S機械は理性的なバッチ監視によって急速で、正確な結果を支えます。このシステムには、スピン、スプレー、スクリブ、空気圧用途など、さまざまな種類のジョブを処理するためのさまざまなツールが含まれています。8300-Sは、短いプロセス時間、精密なエッチング制御、さまざまな基板アプリケーションに対応するための幅広いエッチング設定を提供する、完全に自動化されたレーザー変調エッチングユニットを備えています。チャンバーは最大10個のフルゾーン荷重を収容できます。パルスプラズマ源は、有機非金属汚染物質を除去してエッチング結果を改善し、フォトレジストコーティングは、シングルゾーン、トリプルゾーン、またはマルチゾーンスピン工程で容易に達成されます。また、薄膜層や均質な塗膜を堆積するように設計された4ゾーンスプレーコーターと、材料タイプごとに精密なエッチングパラメータを提供する5ゾーンスプレーコーターを備えています。8300 Sには、ポストプロセス洗浄用およびスパッタブル層の堆積用の空気圧駆動ステーションも含まれています。すべての独立したプロセスツールには、ガス選択バルブとプロセス制御パラメータが内蔵されています。SEMITOOL 8300-Sは、ウェーハ、基板、その他の繊細な部品を含む幅広い基板において、精密なエッチング、成膜、洗浄機能を提供する高度なフォトレジスト加工ツールです。高度なプロセス制御と複数のツールが最適なパフォーマンスと結果を提供し、大量および少量のフォトレジスト処理に最適です。