中古 SEMITOOL 8300 #9155186 を販売中

SEMITOOL 8300は、化学機械平坦化（CMP）および熱化学蒸着（TCD）製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト装置です。これは、SEMITOOLが開発したウェーハ表面の仕上げ結果を得るためのシステムの最新の開発です。このシステムは、タッチスクリーン、簡単な操作、およびロープロファイル設計を備えており、オペレータは複数の手動エントリを作成する必要なく、レシピやプログラムを変更することができます。8300ユニットは3軸プラットフォームであり、重要なプロセスの再現性と精度を向上させます。長寿命の非接触測定ヘッドを備え、ウェーハ表面で正確かつ再現性のある測定が可能です。測定ヘッドは基板のすぐ上に配置され、接触を最小限に抑え、チャンバーの汚染をさらに最小限に抑えます。この機械は、加熱された化学供給ツールまたはチャンバー内蔵の操作アセットで構成することができます。加熱配信モデルは、最適化された洗浄プロセスと制御可能なエッチングプロセスのための化学物質の正確な配信を提供します。チャンバー統合された操作装置は、正確な材料移動を保証し、一貫した結果を提供し、汚染を最小限に抑えます。SEMITOOL 8300では、高度なプロセス制御（APC）も備えており、最適なプロセス結果を達成するための自動化された直感的でシンプルなアプローチをユーザーに提供します。APCは高度なアルゴリズムを使用して、CMPおよびTCDプロセスの正確な制御を可能にします。さらに、システムには設定可能なセンサーが含まれており、ユーザーはウェーハの清潔度と接着レベルを制御することができます。これらの機能により、材料の除去、洗浄、沈着を最適化し、再現性と再現性のあるプロセス結果を実現できます。8300も非常にメンテナンスが簡単です。このユニットには、洗浄機、複数のプロセスタンク、およびユーザーがチャンバー環境の清潔さを監視および維持できるようにする背面Z高さモニターが含まれています。さらに、MTBF（故障前の平均時間）プロセスのスイートが利用可能であり、ツールの最適化された制御を支援します。要するに、SEMITOOL 8300は、さまざまな生産プロセスでの使用に最適な次世代フォトレジスト資産です。高度なプロセス制御、長寿命の非接触測定ヘッド、自動材料搬送、メンテナンスと信頼性の容易さを備えています。モデルは顧客満足を保障する精密で、反復可能なプロセス結果を保証します。