中古 SEMITOOL 8300 #84827 を販売中

SEMITOOL 8300フォトレジスト装置は、基板上にマイクロサイズの構造を作成するために使用される包括的なアライメントおよびリソグラフィーソリューションです。高度な半導体デバイス製造プロセスや電子材料研究に適しています。ステッパーとコーター/デベロッパーの2つの異なる機器が含まれており、基板を正確に整列させ、微細構造化に備えることができます。ステッパーは、基板を精度と精度でスキャンするために設計された光学スキャンシステムです。ステッパーは、ステンレスフレーム、インデックスプレート、デジタルカメラなど、高精度なアライメントユニットを提供するために様々な機能を利用しています。5ミクロン以下の特徴を正確に画像化でき、素早く基板を揃えるために非常に高速なスキャン速度を実現します。Coater/Developerは、基板にフォトレジストを適用して微細構造を作成するために使用できます。コーター/開発者には、コーターと開発者という2つの主要な部分があります。コーターは、フォトレジストの均一なフィルムを基板に塗布するために使用されます。それは正確にそして均一に適用を制御できる空気圧ノズルから成っています。開発者は、基板からフォトレジストを除去するのに役立つ混合ベッドイオニックソリューション（MBI）を含んでいます。さらに、8300には、自動インデクサ、オートフォーカス段、温度制御システム、多層検出システムなど、さまざまな性能向上アクセサリが含まれています。これらのアクセサリーはすべて、機械からのより高い精度とパフォーマンスを可能にします。このツールには、Dark Field Imagingテクノロジーや高度なエッジ位置決め機能など、プロセスの生産性と製品品質を向上させるために設計されたその他の機能も含まれています。SEMITOOL 8300フォトレジスト資産は、信頼性が高く、汎用性が高く、最新のリソグラフィーソリューションで、微細構造化アプリケーションに最適です。その高度な機能により、高精度と高精度のプロセスを可能にすると同時に、さまざまなパフォーマンス向上オプションを提供します。この包括的なタイプのリソグラフィーモデルは、信頼性の高い結果を達成し、高収率のシステムを生成するために必要です。