中古 SEMITOOL 480S #9229853 を販売中

SEMITOOL 480Sは、フォトリソグラフィで基板をパターン化するために使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは大量生産環境向けに設計されており、多くの高度な集積回路（IC）アプリケーションの要件を満たすことができます。480Sは、高品質のデュアルビームエキシマー露光ユニットを備えています。このマシンは、248 nmと193 nmの超紫外放射を含む波長の範囲を利用して、ユーザーが特定のフォトレジストに最適な露光パラメータを選択することができます。このユニットには、露光プロセス中に基板を正確に配置するためのロボットアームも内蔵しています。SEMITOOL 480Sには、ポストコートプラズマクリーニング用の低温プラズマチャンバーが装備されています。このチャンバーは、フォトレジストの適用前に基板をきれいにするように設計されており、結果を最大限に均一にするために滑らかで均一な表面を確保します。ポストコートプラズマ洗浄時、基板は従来のエッチング工程よりも低い温度でイオン化ガス混合物にさらされます。これにより、基板表面を損傷することなく清掃することができます。480Sには高解像度のカメラツールが装備されています。このアセットは、CCDセンサーの配列を使用して、被曝パターンに対する基板の正確かつ正確なアライメントを可能にします。このモデルはまた、基板のパターンに歪みがないことを確認するために、2次元アライメントフィーチャーを使用します。SEMITOOL 480Sには、基板にフォトレジストを堆積するために使用されるスピンエッチユニットも含まれています。この装置は、8。5ミクロンの最大厚さで、さまざまな厚さのフォトレジストを堆積することができます。沈着後、基板は乾燥後のベーク処理を受け、フォトレジストと基板の接着性をさらに高めます。最後に、480Sは基板のプレベーキングとポストベーキングの両方に使用できます。プリベーキングは、フォトレジストの接着性を高め、パターン定義を改善する基板の表面張力をさらに低減するために行われます。ポストベーキング後、フォトレジストパターンは治癒し、アプリケーションの準備ができます。全体として、SEMITOOL 480Sは、さまざまな高度なフォトレジストプロセスを処理できる高度なシステムです。その洗練されたデザインとハイエンド技術の使用により、優れた均一性で正確な結果を提供することができます。これにより、大量生産および高度なICアプリケーションに最適です。