中古 SEMITOOL 480S #9105286 を販売中

SEMITOOL 480Sは、半導体デバイス製造のコートやプロセス開発に使用されるフォトレジスト機器です。プラズマエッチングや化学機械研磨といった他の工程で製造されるものも含め、環境汚染に対する耐性が高い生産環境での使用を想定して設計されています。ウェーハに精密で均一なレジストコーティングと開発を提供する完全自動化システムです。これは、ウェーハ表面に優れたカバレッジのための調整可能なウェーハフロート高さと浅いタンクバスを備えています。In-situモニターは均一な抵抗の配分および厚さを保障します。自動レベリングユニットは、エッジビーズカバレッジを保証し、エッジビルドアップを防止します。このマシンはまた、化学的オーバーライドを低減するためのスマートな化学供給を備えており、スプレー配信は均一性を高めます。完全自動、無人操作のための高度のオンボードPLCによって、操作は容易、信頼できます。480Sは、最先端のドライインプレースプロセスツールを使用して、迅速なサイクルタイムを実現します。温度制御された空気を利用して乾燥を加速する最適化されたレジスト前乾燥ツール、最大の均一性と改善されたレジスト接着のための紫外エネルギーカーテン、およびクイックパルスレジスト露出アセットが含まれています。SEMITOOL 480Sには、任意の化学沈殿物のチャンバーをクリアする自動クリーンアウトルーチンも含まれており、コストと時間の両方を節約します。また、プロセスの効率的なスケジューリングと監視のためのHMIメニューを簡単にナビゲートできます。最後に、このモデルは診断、修理、サポートなどの包括的なサービスパッケージ、およびインストールと操作の包括的なトレーニングによってサポートされています。要約すると、480Sは、多用途で信頼性の高いフォトレジスト機器を半導体デバイスメーカーに提供しています。自動化された機能、効率的なプロセスツール、堅牢なサポートの組み合わせにより、本番環境に最適です。