中古 SEMITOOL 480S #135528 を販売中

SEMITOOL 480 Sは、半導体製造工程においてシングルウェハウェット処理システムの動作を行うフォトレジスト機器です。半導体ウェーハにフォトレジスト層を洗浄、エッチング、剥離、乾燥するための独自のエンドツーエンドのオートメーションソリューションを備えています。480 Sは、各バッチで最大16個のウェーハを正確かつ正確に処理するように設計されています。トップダウンの機械式ロボットシリンジを採用し、少量のフォトレジスト液をウェーハ表面に供給します。液体廃棄物を最小限に抑え、プロセスの均一性を最大化する、環境にやさしいユニットです。また、調節可能なディスペンスバルブを備えており、ウェーハ表面におけるフォトレジストの最適かつ一貫した分配量を保証します。フォトレジストツールは、特殊なスプレーマニホールドとノズルの組み合わせを使用して、液体の効率的かつ均一な分布を提供します。これにより、ウェーハ全体のフォトレジストの均一性が向上し、より大きなダイ領域に堆積する際のフォトレジストの無駄を回避できます。SEMITOOL 480 Sは、ウェーハ表面に適用される特殊なスクラビングモーションを採用し、ウェーハあたりの欠陥数を削減します。さらに、円形のプラットフォームを使用すると、フォトレジストを適用しながらウェーハを連続的に回転させることができ、ウェーハ全体に均一にコーティングされます。このアセットには、フォトレジストアプリケーション全体のプロセス中にウェーハ温度を測定する一連の専用ヒーターと熱電対もあります。このモニタリングにより、ウェーハが一貫した温度に保たれ、フォトレジスト層の収率と品質が向上します。最後に、480 Sは自動乾燥アルゴリズムを備えており、すべてのフォトレジストをウェーハから確実に取り除き、クリーンで高解像度の表面仕上げを残します。乾燥プロセスは、表面残留物や粒子を除去し、基礎となるフォトレジスト層への損傷を回避します。