中古 SEMITOOL 480 #9105787 を販売中

SEMITOOL 480は、さまざまなウエハおよび基板プロセスに最適なコーティング性能を提供するように設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、ユニークなデュアルシャワーヘッドコースヘッド設計を備えており、幅広い用途に優れた均一性と一貫性を提供します。高精度MCA（マルチチャンバーアプリケーション）ユニットは、各プロセスステップに必要な開発者、レジスト、およびエッチングの正確な濃度を提供します。さらに、最適化されたPWB （Programmable Wall Bias）制御モジュールは、大量生産のためのプログラム可能なプロセス制御を提供します。このマシンには、最先端のプロセス監視システムが装備されています。これには、直感的なタッチスクリーンメニューとシナリオを使用して完全なプロセス制御を行うSEMITOOL 4340コントローラが含まれます。フィードバック制御ループだけでなく、プロセスパラメータの簡単なセットアップと変更を可能にします。このツールには、重要または温度に敏感なアプリケーションで高精度の高さ測定センサも用意されています。480アセットは、モジュール式の設計により、定期的なメンテナンスに簡単にアクセスでき、信頼性が高いように設計されています。2つのラックで利用可能で、ウェーハサイズから直径30インチまでの6つのチャンバーアプリケーションがあります。このモデルはまた、あらゆる用途に適した幅広いプロセス関連材料を備えた優れた環境適合性を提供します。この機器には、アクティブおよびパッシブESD保護など、さまざまな電源保護機能が装備されています。さらに、SEMITOOL 480は、基板やプロセスの変化を迅速に識別できるように設計された高度な光学認識システムを備えています。基板タイプとパターン工程を1秒未満で検出できます。機械はクリーンルームのISO-5および米国EPAの標準を支えるように設計され、RoHSおよび非RoHSの適用のために指定することができます。480は、高度なフォトレジストコーティングプロセスのための費用対効果の高い効率的なソリューションです。大量の生産とプロセスの一貫性に優れたパフォーマンスを提供するとともに、安全で環境に優しいツールを提供します。堅牢な設計と直感的なプロセス制御機能を備えたSEMITOOL 480は、今日のフォトレジストコーティングプロセスにおいて最高の精度と信頼性を保証します。