中古 SEMITOOL 480 #78272 を販売中

SEMITOOL 480 Photoresist Equipmentは、ハイスループットフォトリソグラフィ処理のための高品質ソリューションです。このシステムは、プリント基板、フラットパネルディスプレイ、および同様の精密電子デバイスの製造に信頼性と再現性の高いプロセスを提供するように設計されています。このユニットは、フォトレジストトラックとスピナー、カートリッジベースのケミカルデリバリー、480コントローラの3つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジストトラックとスピナーツールは、この資産の基本的なコンポーネントであり、一連のスピナーモジュールと回転モータを備えたトラックで構成されています。このモデルは、カットローディング工程に従って設計されており、高いスループット生産と短い処理時間を可能にします。スピナーモジュールは回転モータによって駆動され、フォトレジストトラックの正確な再現可能な動きを保証するために校正および調整されます。このトラックには、フォトレジストと基板の両方のタイミングと位置を検出するセンサーが装備されており、繰り返し可能なプロセスを保証します。トラックの端には垂直キャスター機構が配置されており、基板を機器から簡単に積み下ろしできます。ケミカルデリバリーシステムは、計量装置を備えたカートリッジベースの化学モジュールで構成されており、化学物質とプロセス環境の間に限られた接触を提供するように設計されています。これにより、モジュールが残っている残留化学物質が基板またはトラックユニットを汚染しないことが保証されます。カートリッジは交換可能で、溶媒廃棄物の削減、化学変化の迅速化、メンテナンスコストの最小化を実現します。モジュールには、オーバーフィル検出、フロー制御、センサー監視などの安全機能も組み込まれています。SEMITOOL 480コントローラは、ユーザーがプロセス全体をリモートで制御および監視できるように設計されています。このコントローラーには、レシピ同期やマルチマシン操作などの高度な機能が搭載されており、ユーザーにトータルプロセス制御を提供します。コントローラはまた、リモート診断を可能にし、オペレータにエラーメッセージを提供します。480フォトレジストツールは、再現性と柔軟性の最適なブレンドを提供するように設計されており、生産品質と歩留まりを向上させたいメーカーにとって貴重なソリューションです。