中古 SEMITOOL 480 #78271 を販売中

SEMITOOL 480は、フォトレジスト技術をベースとした半導体ウェーハ加工機です。これは、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品などの精密半導体デバイスの製造に使用されるように特別に設計されています。この装置は、集積回路の製造工程において重要なステップであるフォトリソグラフィの概念に基づいて構築されています。フォトリソグラフィープロセスは、紫外線などの光源を使用して、フォトマスクから基板にパターンを転送することを含みます。このパターンは、フォトレジストを使用して開発され、適切な化学療法またはプラズマ療法を使用してさらにエッチングされます。480はフォトレジスト技術を使用して、紫外線を使用したウェーハ上のパターンの正確な開発を可能にします。このシステムは、望ましいパターンを作成するために、ウェーハ上のフォトレジストを露出するために使用される電子ビーム源を備えています。さらに、このユニットには、フォトマスクの正確で高解像度の画像を提供する重要なイメージングモジュール（CIM）が含まれています。この画像は、フォトリソグラフィ中に参照として使用され、正しいパターンがウェーハに露出、開発、エッチングされていることを確認します。精度と均一性を向上させるため、SEMITOOL 480はプログラム可能なベベルユニットも備えています。ベベル単位は非常に小さい特徴次元の集積回路の生産を促進するためにエッチングの深さを調節するのに使用することができます。また、開発中に最適な温度でフォトレジスト材料を維持するために使用される温度制御ユニットを備えています。さらに、480は高精度パターンアライメントモジュールを備えています。このモジュールは、正確なパターン露出を確保するために、ウェーハ上のフォトマスクの迅速かつ正確なアライメントを可能にします。さらに、このツールには、製造プロセス全体を監視および制御するための高度なソフトウェアが含まれています。要するに、SEMITOOL 480は、高精度の半導体デバイスを製造するために特別に設計された高度なフォトレジスト資産です。電子ビームソース、プログラム可能なベベルユニット、温度制御ユニット、パターンアライメントモジュールを備えており、ウェーハ上のパターン開発において優れた精度と均一性を実現しています。このモデルには、製造プロセス全体を管理および制御するための包括的なソフトウェアが付属しています。