中古 SEMITOOL 480 #78270 を販売中

SEMITOOL 480 Photoresist Equipmentは、高速、再現性、精度を備えたフォトレジストパターンのフルウェーハ処理と除去を提供する自動システムです。フロントエンドのロードロボットを使用して、プレクリーンステーション、ホットプレート、トラックおよびデベロッパーステーション、アンロードステーション間でウェーハを転送します。プリクリーンステーションは、ウェーハ表面をきれいにして既存の残留物を除去し、レジストアプリケーションに理想的な出発点を提供するように設計されています。ホットプレートは、プレベークおよびポストベーク処理中にウェーハ全体に均一な温度を提供し、レジストパターンを露出します。トラックモジュールには、ウェハごとにプラッタ速度、ノズルサイズ、膜厚を調整する高度なマイクロプロセッサベースのマシンが装備されています。Developer Stationには最適化されたスピナーと多方向スプレーノズルが装備されており、レジストパターンを迅速かつ正確に開発できます。アンロードステーションは、ベーキング後にウェーハを正確に配置し、プロセスを追跡するように設計されています。このツールは、直径8インチまでのウェーハを処理し、厚さ1mmまでのテープを処理するように設計されています。優れたアライメントの再現性、コーナー精度、およびその他の重要なパラメータを最大限の一貫性で提供します。480はプログラムとメンテナンスも簡単で、障害が発生した場合に障害回復資産を提供します。このモデルは、半導体デバイスのアプリケーションに最適であり、最大の歩留まりとコスト効率を確保するように設計されています。