中古 SEMITOOL 470S #9209038 を販売中

SEMITOOL 470Sは、精密薄膜コーティング用に設計された自動フォトレジスト装置です。レジストディスペンサー、基板ステージ、真空システム、および制御環境が含まれています。ディスペンサーは複数のレジストレシピを正確に制御することができ、正確な再現性が得られます。液体材料と固体フォトレジスト材料の両方に対応し、柔軟性を提供し、薄膜プロセスのカスタマイズを可能にします。ディスペンサーには、ポンプとミキシングユニットが装備されており、レジストが均一に適用されることを保証します。基板ステージは、基板材料を配置するための平坦な領域を提供します。ステージは、4x4インチまでのさまざまなサイズの基板に対応するように設計されています。また、加熱または冷却されたプラットフォームで構成することができ、薄膜プロセス中の温度制御を可能にします。真空機械には、真空チャンバーと調整可能な圧力設定が含まれています。これにより、基板上のカバレッジに抵抗すると同時に、基板から不要な気泡や粉塵粒子を除去することができます。最後に、SEMITOOL 470 Sに含まれる制御環境は、ほこりや湿度などの外部汚染物質への不要な暴露を低減します。これにより、再現性と信頼性の高い薄膜プロセスを作成するのに役立ちます。470Sは、精密薄膜プロセス用に設計された自動フォトレジストツールです。複数のレジストレシピを正確に制御し、さまざまなサイズの基板に対応し、カバレッジを確保するための真空アセットを提供し、外部汚染を防ぐためのクリーンな環境を維持します。