中古 SEMITOOL 470S #9209035 を販売中

SEMITOOL 470Sは、半導体製造プロセス向けに設計されたフォトレジスト機器です。ウェットクリーニング、開発、エッチング、フォトレジスト除去工程において高い性能を発揮します。このシステムを使用すると、ユーザーはナノファブリケーションのワークフローで一貫した結果を得ることができます。SEMITOOL 470 Sは、様々な小規模エッチング、成膜、レジストスピン、計測プロセスをサポートすることができる短いオープンプロセスチャンバーを備えたシングルチャンバー垂直ユニットです。ウェットクリーニング、開発、エッチング、フォトレジストストリッピングを利用して、望ましい結果を得ることができます。内部プロセスチャンバーを使用すると、迅速なプロセス変更が可能になり、ユーザーはプロセスを迅速かつ簡単に切り替えることができます。また、自社開発のEasyClearデジタルビジョンセンサパッケージを搭載しており、運転中の基板の積み降ろしを制御することができます。また、積み下ろしステーションには半導体技術が組み込まれており、ユーザーは手動で接触することなく基板を積み下ろすことができ、汚染のリスクを排除します。このツールには、基板温度、圧力、湿度、プロセスの傾向などの重要なパラメータを検出するためにスキャンすることができる自動モニタアセットが装備されています。これにより、フォトレジストモデルが一定の制御下にあることが保証され、特定のアプリケーションに最適な作業条件を確保するためにプロセスパラメータのプロアクティブな再調整が可能になります。470Sフォトレジスト装置には、エネルギー効率の良い暖房システムや不活性ガスのパージ処理などのインテリジェントな省エネルギーと環境保護対策も装備されています。これらの対策により、ユーザーは環境への影響を最小限に抑えてユニットを使用することができます。さらに、機械のすべての部品は最高の純度のプロセス条件および強い長期信頼性を提供するために良質の標準と造られます。470 Sフォトレジストツールは、可能な限り最高の処理結果を得るためにアクセサリの広い範囲で構成することができます。