中古 SEMITOOL 470S #9105722 を販売中

SEMITOOL 470Sは、フォトリソグラフィープロセス中の半導体ウェーハの処理に使用されるフォトレジストユニットです。この装置はフル機能を備えたツールであり、オペレータの介入を最小限に抑えてフロントとバックエンドの両方のアプリケーションを処理するように設計されています。このシステムは、さまざまなウエハサイズと厚さに対応できる高解像度X-Yアクチュエータを介してサポートされるウェハハンドリングユニットに基づいて構築されています。また、基板間の位置差を補正するAuto Alignment Machine （AAS）を使用して、セットアップ時間を最小限に抑えてウェーハサイズを交換することもできます。SEMITOOL 470 Sには、ウェーハ表面への正確な化学物質配送を保証し、危険物質への曝露を制限する自動化化ケミカルデリバリーツールが装備されています。このアセットはhot。cold容量を備えており、暖かい処理と涼しい処理の両方を可能にします。また、プレベーク、サーマルオキシド、酸化エッチング、DRIEなど、幅広い熱抵抗処理機能を備えています。470Sは、すべてのユニット設定を監視し、プログラムに基づいてPLCモデルを持っています、システムコントローラ上のグラフィックインタフェースを作成します。これにより、すべてのプロセスステップが最適化され、繰り返し可能な方法で実行されるようになります。470 Sは密閉されたプロセスチャンバーとオンボードドーパント配送システムで設計されています。これにより、ウエハを酸素と水のない大気中で処理することができ、最適なエッチング速度を保証します。また、CCDカメラを搭載した光学モニタリングマシンを搭載し、オペレータがリアルタイムでプロセスを観察することができます。最後に、SEMITOOL 470Sには、高品質のフォトリソグラフィープロセス用のUVソースが含まれています。このユニットには13.5sq.cm標準の露出マスクが装備されており、より精密なプロセスのために375nm、 UVレーザーで使用することもできます。結論として、SEMITOOL 470 Sは、オペレータにさまざまなプロセスオプションを提供する汎用性と信頼性の高いフォトレジストツールです。単位は一貫した、反復可能な結果を保障する容易な制御および監視と設計されています。