中古 SEMITOOL 470S #293658260 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
470S
ID: 293658260
ウェーハサイズ: 8"
Spin Rinse Dryer (SRD), 8".
SEMITOOL 470Sは、最大スループットで優れたバッチ処理を実現するために設計された自動フォトレジスト装置です。このシステムは、ウェーハ処理アプリケーションの広い範囲に最適なバッチ処理機能を提供します。高度なノードメモリデバイスの製造に特化して設計されており、最大25インチのウェーハを処理できます。このユニットは、完全に統合されたフォトレジスト処理機を使用して、正確さとスループットを最適化する方法でフォトレジストを攪拌し、分配します。この化学プロセスは、画像の精度と再現性の均一性と一貫性を保証します。最高プロセス温度40°Cのこのツールは、加工中に安定した状態を維持しなければならない敏感なフォトレジスト材料を含む繊細なウエハの処理に最適です。SEMITOOL 470 Sは、各画像の優れたエッジのシャープネスを実現する高度なイメージングアセットを備えています。調節可能なノズル技術により、エッジ分解能や均一な分散に最適な正確なスプレーパターンを演出することが可能です。さらに、この機器の静電エッジ定義機能により、安定した画像アライメントが保証され、歩留まり率が向上し、画質が向上します。また、高度なWebベースの制御ソフトウェアを使用して、集中した場所からのフルアクセスと制御を可能にします。このソフトウェアは、ウェーハ処理アプリケーションを簡単に監視、追跡、修正、および最適化するために使用できます。また、世界中のどこからでもデータへの完全なトレーサビリティとアクセスを提供します。全体として、470Sは高度なノードメモリデバイスの製造に最適なソリューションです。高度なイメージングマシンとWebベースの制御ソフトウェアを組み合わせたフォトレジスト処理ユニットは、フォトレジスト関連のプロセスを実行するための不可欠なツールです。バッチ処理機能と優れた精度により、このツールは最高のスループットと一貫した結果を確実に提供します。
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