中古 SEMITOOL 470S #293658254 を販売中

SEMITOOL 470Sは、半導体ウェーハを加工するために設計されたフォトレジスト装置です。これは、強力なプロセスコントロールと組み合わせた伝統的なリソグラフィーインデクサの特徴を持っています。このシステムは、幅広い用途での半導体デバイス処理を最適化するために設計されています。SEMITOOL 470 Sは、基板ハンドリングチャンバー、複数のプロセスモジュール、使いやすいユーザーインターフェイスで構成されています。基板処理チャンバは、効率的なウェーハのローディングとアンロードのために設計されています。大容量で、ウェーハステージングエリアが大きいため、素早い積み下ろしとチャンバー全体に均等に分散された真空が可能です。470Sの統合された複数のプロセスモジュールは、リソグラフィ用に設計され、開発プロセスに抵抗します。ユニットの機能には、高度なステッピングコントローラ、デュアルインデックス、繰り返し可能なオーバーレイトラッキング、および特許取得済みのプリアライナーが含まれます。ステッピングコントローラは、パターニングアプリケーションで最大の精度を得るために、線形および回転運動の独立した制御を提供します。デュアルインデックスマシンは、パターニングスリットとステップフィールドと基板の再現可能なアライメントを容易にし、プレアライナーはウェーハを完全に登録します。470 Sはまた、ディスペンスノズルローディングツールとレジストストリップチャンバーを備えたレジスト開発機能を備えています。アセットの独立したレジストレイヤアプリケーションチャンバーは、幅広いフォトレジストに対応し、プロセスの多様性を可能にします。SEMITOOL 470Sのユーザーインターフェイスは、生産作業を簡素化および迅速化するために特別に設計されています。このモデルは、直感的なアイコンを備えたタッチスクリーンインターフェイスを使用しているため、ナビゲーションとナビゲーションプロセスが簡単になります。統合されたツールは、ユーザーがそれぞれのプロセスに関する詳細なデータにアクセスできるように、詳細な製品分析用に設計されています。全体として、SEMITOOL 470 Sは、効率的な半導体ウェーハ処理に最適なフォトレジスト機器です。その革新的なデザインは、リソグラフィープロセスの汎用性と正確なレジスト開発機能と、使いやすいユーザーインターフェイスを組み合わせています。