中古 SEMITOOL 470S #178413 を販売中

SEMITOOL 470S
製造業者
SEMITOOL
モデル
470S
ID: 178413
Spin rinse dryer, (SRD) Single Spin Rinser Dryer on a roll around cart Capable of processing up to 6" wafers Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator "S" model upgrade includes class 10 Poly, quick disconnect rotor and an N2 rear seal Controller Compatibility: PCS-101, PCS-102 DI Water Recirc Capable: YES Motor Seal: Labyrinth Motor Type: Brushless N2 Heater Capable: YES Resistivity Monitoring Capable: YES Rotor Type: Quick Disconnect Static Eliminator Capable: YES Substrate size: 150 mm max. System Configuration: Roll Around Single Bowl.
SEMITOOL 470Sは、クリーンルーム環境における半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体回路の開発のための高品質で高精度な環境をユーザーに提供するために協力する多くの独立したコンポーネントで構成されています。SEMITOOL 470 Sの中核には、高度な高周波パルス電子ビーム蒸発器が搭載されており、フォトレジストの最高級の層を材料の下に堆積させるように設計されています。蒸発器は、高周波、高電圧電源と、対称性の高い大型電子ビームガンで構成されています。このユニットで使用される共焦点の誘導電子ビーム振動技術は、正確なレジスト沈着を保証し、フォトレジストラインのサイズが安定していることを保証します。蒸発器には、カラム位置、線幅、沈着深度など、さまざまな調整可能なパラメータが付属しているため、フォトレジストを正確に適用できます。470Sの2番目のコンポーネントは、フォトレジスト蒸着の正確な回転および回転パラメータを制御するスピンプロセッサです。Spin Processorには高度なDSP (Digital Signal Processing)マシンが搭載されており、絶対的な精密なプロセス制御と遠位回転と加速度の正確な追跡を組み合わせています。プロセッサは回転プロファイルの配列で事前にプログラムされているため、ユーザーはレジストの厚さとレイアウト要件に最適なものを簡単に選択できます。470 Sには、正確で一貫した複数の露出源を提供するマルチエクスポージャー・プロセッサも含まれています。このプロセッサは、シングルストライプから複雑な直流パターニングまで、さまざまな露出要件を提供し、高精度で再現性のある半導体回路設計を実現します。最後に、SEMITOOL 470Sは高解像度の検査ツールを備えており、堆積フォトレジストの可能な限り最高の品質と一貫性を実現します。調整可能なズームレンズを備えた3つの高解像度カメラを搭載し、複数のエリアを同時に検査できます。検査モデルはまた、強力なコンピュータ機器に接続されており、カメラによってキャプチャされたデータが常に正確で電流であることを保証します。SEMITOOL 470 Sフォトレジストシステムは、半導体デバイスの製造のための完全なソリューションをユーザーに提供する真の包括的なユニットです。その高度な蒸化器の技術と精密なスピン・プロセッサ、マルチエクスポージャー・プロセッサと高解像度検査機は、最高の品質、一貫性、使いやすさを確実に提供します。
まだレビューはありません