中古 SEMITOOL 470S #151764 を販売中

SEMITOOL 470Sは、幅広い表面処理、リソグラフィ、および抵抗処理アプリケーションをサポートするように設計されたフォトレジストストリップ装置です。このシステムは、革新的な技術を使用して、すべてのフォトマスクのアラインメントに対して+/-2ミクロンの精度を保証します。このユニットは、さまざまな基板構成に対応するモジュラー4軸モーション機能で設計されており、直径300mmまでのウェーハを処理する際に柔軟性と精度を提供するプログラマブルな4ヘッドの巻き戻し/巻き戻しを備えています。SEMITOOL 470 Sは、マニュアルまたは自動化されたレジストスピンオン、スピンオフ、および精密なアライメントと均一性を備えたレジストの開発など、幅広いレジスト処理機能を提供します。機械は温度、時間、圧力および速度の制御を可能にするために450°Cまでホットプレートおよびソフトウェア機能を提供します。このツールはまた、ホットプレートの冷却効果を均一な冷却を必要とする領域だけに制限する革新的なローカライズ冷却技術を備えています。470Sは、さまざまなプロセスパラメータを正確かつ一貫した制御を提供するソフトウェアパッケージによって駆動されます。これらのパラメータはソフトウェアによってリアルタイムで監視および調整され、アセットはプロセスの特定の要件に応じてパラメータを調整することができます。さらに、ソフトウェアには、すべてのプロセスが安全かつ効果的に実行されるようにするための組み込みの安全プロトコルが含まれています。さらに、470 Sは診断とクリーニングモジュールのフルスイートも提供しています。モデルは、検出された問題を自動的に認識し、それらを解決するためのステップバイステップの手順を提供することができます。また、ウェハの自動識別、高レベルの汚染検出、ケーブルの完全性検出を備えているため、すべての基板が適切に処理され、システムが最適に動作するようになります。要約すると、SEMITOOL 470Sは、幅広いフォトレジストストリップ処理アプリケーションをサポートするための信頼性が高く、正確で正確なソリューションを提供します。このユニットは、革新的な制御機械、幅広いレジスト処理機能、および完全な診断およびクリーニングモジュールを備えています。SEMITOOL 470 Sのモジュール性により、各アプリケーションの特定のニーズに合わせてカスタマイズでき、フォトレジストストリップ処理に包括的かつ効率的なソリューションを提供します。