中古 SEMITOOL 470S #103617 を販売中

SEMITOOL 470Sは半導体加工のための高度なフォトレジストシステムです。これは、集積回路（IC）基板やその他の電子機器の製造に使用されます。このシステムは、チップレイアウトと機能をプログラミングするために、フォトレジストをウェーハに塗布するためのサーモオプティクス技術を使用しています。プロセスはウェハアセンブリ段階から始まり、フォトリソグラフィ露出とスピンコーティングが続きます。露光中、ウェーハとフォトレジストの間にマスクを置き、モデルの上に光を渡します。レジストは、光が輝く領域で選択的に露出され、露出していないレジストは、光がブロックされている領域で除去されます。その後、フォトリソグラフィ露光に続いてコーティング工程が行われ、SEMITOOL 470 Sの熱光学コーティングチャンバーにウェーハが配置されます。このチャンバーは、熱プロファイル、温度、および均一性を正確に制御し、一貫した反復可能なフォトレジスト蒸着を可能にします。チャンバーにはマルチゾーン加熱機構があり、安定性を高めるために1つまたは複数のファン支援オプションがあります。最後に、フォトレジストは470Sの硬化オーブンで硬化します。このオーブンは、フォトレジストが適切に硬化して硬化することを保証するために高度な精密制御を持っています。さらに、オーブンは、事前に設定された温度とドウェル時間で、複数のレシピのためにプログラムすることができます。全体的に、470 Sはタイトな線幅と高いパターン解像度を生成するための高度なフォトレジストシステムです。その精度、再現性、および熱制御により、IC基板やその他の高度な電子機器の信頼性の高い製造が可能になります。