中古 SEMITOOL 470F #9268571 を販売中

SEMITOOL 470F Photoresist Equipmentは、半導体およびハイブリッド回路製造プロセスの厳しい要件に対応するために設計された、高性能で高度なウェット処理システムです。このユニットには拡張性と拡張性に優れた専用プラットフォームが装備されており、フラットパネルディスプレイからSOIウェハファブリケーションまでのアプリケーション向けに、バス、モジュール、および関連する周辺機器の多数の構成を可能にします。さらに、このマシンには高度なソフトウェア機能が標準装備されており、幅広いプロセス制御、監視、レポート機能を提供します。470F Photoresist Toolは、以前のモデルの信頼性の高いスケーラビリティと優れたパフォーマンスを基盤としています。これは、スピンコーティング、スプレーコーティング、プレベーク、露出、ポストベーク、開発などのすべての標準的なフォトレジストプロセスだけでなく、複雑なマルチステッププロセスを処理することができます。この資産は、溶剤、リンス、プレベーク、ポストベーク、リンス開発者、および反射防止コーティングなどのプロセスを完了するために25以上の個々の浴室を利用しています。複数の構成とレシピをサポートするために、SEMITOOL 470Fは標準化されたモジュラー設計を採用しており、バスやモジュールの迅速かつ簡単なスワップ性を実現しています。このモデルは、レシピパラメータとプロセス結果を制御、保存、監視するための直感的なタッチスクリーンインターフェイスも備えています。タッチスクリーンインターフェイスは、詳細な温度、攪拌および化学情報を表示し、すべてのパラメータ設定をカスタマイズできます。この直感的でインタラクティブなタッチスクリーンインターフェイスにより、リアルタイムのプロセス情報に素早く簡単にアクセスでき、最適な結果と厳しい製造公差を確保しながら、生産プロセスに付加価値をもたらします。高性能ソフトウェアは470F内に組み込まれており、データ駆動のプロセス監視と制御が容易に行えます。ソフトウェアは、すべての機器プロセスの仕様、アラーム、診断、およびレポートを提供するように設計されています。さらに、このソフトウェアの堅牢なレポートは、プロセスパラメータ、プロセスステータス、およびプロセス履歴に関する詳細情報を提供します。この情報は迅速かつ簡単に分析することができ、生産プロセスの最適化、時間とコストの節約に役立ちます。SEMITOOL 470Fは、技術者の相互作用を最小限に抑えながら、さまざまなフォトレジストプロセスを効率的かつ効果的に処理するように調整されています。このシステムは、スピンコーティング、プレベーク、露出、ポストベーク、開発などの複雑なマルチステッププロセスを実行することができます。堅牢なソフトウェアは、データ駆動型のプロセス監視と制御をユーザーに提供し、厳しい生産公差を確保します。最後に、直感的なタッチスクリーンインターフェイスは、リアルタイムプロセス情報への迅速かつ簡単なアクセスを提供し、ユーザーが生産プロセスをカスタマイズして最適化することができます。