中古 SEMITOOL 470F #178414 を販売中

SEMITOOL 470Fは、SEMITOOL、 Inc。が設計したフォトレジスト加工装置です。このシステムは非常に汎用性が高く、直径200mmまたは8インチから直径300mmまたは12インチまでのあらゆるサイズのウェーハを処理することができます。470Fは、レジストステーション、洗浄ステーション、ドライステーション、スピンステーション、Mod-Liftを含むオールインワンの自己完結型ユニットで、マシンからウェーハを取り外し、カセットキャリアに配置します。抵抗の場所は温度、圧力、流れ、回転速度および時間のような変数の精密な制御そして正確な監視を保障する高度、特許を取られた技術を特色にします。このチャンバーは、150°Cまでの温度制御と600 rpmまでのスピン速度を制御することができ、さまざまなフォトレジストを適用し、高スループットで動作することができます。このチャンバーには、優れたフォトレジスト用のSEMITOOL Ultra-Clean Level 4洗浄パスがあり、残留除去に抵抗します。スピンステーションは回転速度とタイムコントロールの両方を備えており、スピン速度は200〜600rpmまで調整可能で、さまざまな厚さと特性を持つフォトレジストを適用することができます。さらに、Mod-Liftは正確なウェーハ配置を提供し、ウェーハを迅速かつ安全にツールから転送できます。また、不正アクセスを防止するための追加のセキュリティインターロック機能も備えています。SEMITOOL 470Fは、ウェハローディングからウェハアンロードまで、簡単で信頼性の高いプロセス設定を可能にするように設計されています。また、使いやすさのためのWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス、専用のレシピとデータロギング資産、およびメンテナンス履歴の追跡を可能にする装置管理モデルも備えています。また、機器には完全なネットワーク機能があり、リモートアクセスとトラブルシューティングが可能です。全体として、470Fは非常に汎用性が高く信頼性の高いフォトレジスト処理システムであり、使いやすく、さまざまなウェハサイズとフォトレジストに素早く対応できます。SEMITOOL 470Fは、高度な技術と直感的なユーザーインターフェースを備え、さまざまな厚さ、層、エッチプロファイルを持つ幅広いウエハを処理することができるフォトレジストフィルム加工に最適です。