中古 SEMITOOL 470F #151769 を販売中

SEMITOOL 470Fフォトレジスト装置は、半導体業界で使用されるコーティング、開発、洗浄のための自動ソリューションです。その先進的な設計により、ドライフィルムやウェットフィルムなどのウェハ加工作業の精度と再現性が向上します。このシステムは、フォトレジストを片面と両面の両方のウェハに適用するように設計されています。フォトレジスト（Photoresists）は、半導体製造に使用される、均一で光感受性の高い有機ポリマー材料です。フォトレジストをウェーハに適用することで、各デバイスの機能を作成し、ファインピッチ半導体デバイスの製造を可能にします。470Fは、ウェーハプロセスライン全体に統合された複数のモジュールで構成されています。これには、自動ウェーハローダー（AWL）、ウェーハトランスポート、およびスピンコーター、スピナー、開発者、カセットクリーナー、ホットスロットなどのさまざまなプロセスモジュールが含まれます。AWL （Automatic Wafer Loader）は、ユニットとの間で信頼性の高い正確なウェーハの位置決めと転送を提供します。さらに、AWLは互換性のあるインターフェイスにカセットを取り付けることができ、効率的で信頼性の高いカセット間の転送を可能にします。ウェーハトランスポートモジュールは完全なトランスポートとモーションコントロールを提供し、再構成可能なトランスポート経路は完全なクローズドループのモーションコントロールとデータロギングマシンによって達成されます。プロセスモジュールにより、フォトレジストをウェハに適用できます。スピンコーターは、高速でウェーハ上に均一なコーティングを作成するために使用されます。スピナーは、ウェーハ上のフォトレジストの開発、余分なフォトレジストの除去、残留物の除去に使用されます。Developerモジュールは、回路パターンをエッチングまたは作成する前に不要なフォトレジストを削除するために使用されます。カセットクリーナーは、作業中にクリーニングソリューションを噴霧することによってウェーハをきれいにするために使用されます。ホットスロットはフォトレジストの乾燥に使用されます。SEMITOOL 470F Photoresist Toolは、半導体業界で使用されるコーティング、開発、洗浄のための包括的な自動化ソリューションです。統合されたモジュールと高度な設計により、ウェーハ処理作業の精度と再現性が向上します。