中古 SEMITOOL 470 series #84150 を販売中

SEMITOOL 470シリーズは、優れたプロセス能力を持つフォトリソグラフィーアプリケーションを提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、さまざまな基板やフォトレジスト材料を扱うことができ、あらゆるフォトリソグラフィ要件に最適な結果を提供します。このユニットは、ウェーハ、PCボード、ディスクリート部品を含む幅広い基板に構成することができるモジュラーウェット処理プラットフォームで構成されています。この機械には、自動化された工具交換、ロボット基板およびウェハンドラ、および業界をリードするソフトウェアスイートが装備されており、複数の処理タスクを実行できます。このツールは、最大限の柔軟性と拡張性を提供し、ユーザーの特定のニーズを満たすことができます。このアセットは、温度制御された水中/耐性カセットステーション、一時的な処理カセットを備えており、270°Fまで加熱された最大2つの浸漬およびスプレーリンスタンクを提供します。このモデルは、高度な半可塑性/耐性化学供給技術を利用しており、化学溶液の適切な濃度を保証するオプションの化学モニタリング装置を提供します。470シリーズはまた、統合されたバーコードスキャナを備えた高度なフォトレジストライフサイクル管理ソリューションも提供します。システムのコアプロセス機能には、プレベーク、プレコート、ポストコーティング工程、ポストリンス、ストリップ、ストリップ洗浄などがあります。さらに、このユニットにはツーリングとアクセサリを追加して、特定のアプリケーションのニーズに合わせたプロセスをカスタマイズできます。このマシンはまた、プロセス変数の監視とプロセスパラメータのチューニングを可能にするオペレーティングソフトウェアツールを通じて、高度なプロセス制御とレポート機能をユーザーに提供します。このアセットは、マテリアルハンドリング、レシピスクリプティング、データロギングから生産性制御およびトラッキングまで、幅広い機能とオプションを提供します。全体として、SEMITOOL 470シリーズフォトレジストモデルは、フォトリソグラフィーアプリケーション向けの高度で信頼性の高いソリューションを提供します。柔軟でスケーラブルな設計により、幅広いフォトリソグラフィ要件に理想的な機器となり、比類のないプロセス制御とパフォーマンスをユーザーに提供します。