中古 SEMITOOL 470 D #121593 を販売中

SEMITOOL 470 D
製造業者
SEMITOOL
モデル
470 D
ID: 121593
ウェーハサイズ: 8"
Spin Rinser Dryers, 8" Includes cassette and rotor.
SEMITOOL 470 Dは、さまざまな基板に保護コーティングを作成するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、基板表面のナノメートルスケール材料を分解するために、Deep UVと呼ばれる特殊なタイプのビームを利用しています。これらのナノメートルスケール材料を分解することで、基板にミクロンスケールのフォトレジスト層を高精度に適用することができます。470 Dは、非常に微細なフォトレジストコーティングを実現できる完全自動化ユニットです。SEMITOOLソフトウェアと組み合わせたサーボアシストメカニズムは、10ミクロンの分解能と2ミクロンの垂直変位精度を提供します。SEMITOOL 470 Dには、幅200mm以上の基板コーティングが可能な大型ワーキングエリアも備えています。470 Dのさらなる利点は、フォトレジスト材料の毛布層を正確に制御することで、基板への均一な厚さと完全な接着を可能にすることです。SEMITOOL 470 Dはまた、ユーザーに幅広い後処理オプションを提供します。内蔵のダイナミックフォーカス補償アルゴリズムにより、フォトレジスト層の幾何学的形状を正確に制御することができ、開発前の品質が向上します。このマシンはまた、最適な均一なパターン制御アルゴリズムを提供し、ユーザーは基板処理結果のダイナミックレンジを調整することができます。さらに、水分センサーを使用すると、基板の環境をよりよく把握でき、さらにポリマーモジュールを470 Dのフォトレジストツールと統合して、デポジット機能をさらに制御できます。SEMITOOL 470 Dは、自動化されながらも高精度なコーティングプロセスにより、競争の中で際立っています。ミクロンレベルの精度と動的な後処理ツールで均一なコーティングを実現し、最適な均一性を実現します。470 Dは、ほぼすべてのサイズと形状の基板に優れた精度でコーティングするように設計されています。これにより、単層の超薄型保護コーティングを基板に適用することを検討している人にとって理想的なモデルとなります。
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