中古 SEMITOOL 460S #9229852 を販売中

SEMITOOL 460S Photoresist Equipmentは、半導体製造業界のウェット処理アプリケーション用に設計された自動ツールです。フォトレジスト樹脂は、陽性樹脂や陰性樹脂樹脂、光分解性樹脂など、様々なフォトレジスト樹脂を取り扱うことができます。このユニットは、ProFlex™ II液体モジュールを備えており、ウェーハ処理用のシングルタンク浸漬リソグラフィーソリューションを提供します。また、高度な安全機能とプロセス制御技術を採用し、信頼性と再現性の高いプロセスを保証します。460Sは、さまざまなフォトレジストのレシピを生成し、将来の使用のためにメモリにそれらを維持することができる高性能パターンジェネレータを備えています。さらに、4ワッシャーのデュアルレーン技術により、最大4種類のウエハータイプで複数の同時プロセスを実行できます。これにより、高度に自動化されたプロセスが容易になり、スループットが速くなり、ウェーハの歩留まりが向上します。SEMITOOL 460Sシステムには、Develop ChamberとStrip Chamberという2つの独立したプロセスチャンバーがあります。どちらのチャンバーも完全に温度制御された再循環浴を採用しており、フォトレジストは光への曝露に抵抗し、プロセス全体で一貫した温度レベルを維持します。さらに、チャンバーの設計により、パーティションウォール上に水しぶきをかける洗浄ウェーハの可能性を取り除くことで、2つのチャンバー間の相互汚染を防ぎます。460Sには、ウェーハにフォトレジストパターンを素早く正確に配置できるシャドウマスクモジュールや、カセットや床の分離ポンプを可能にするバスケット転送ステーションなど、いくつかのオプションのアクセサリーも含まれています。このユニットには、プロセス全体の状態を監視および記録する高度なプロセス制御ソフトウェアも含まれています。最終的に、ユニットは、すべてのフォトレジスト材料の最適なウェット処理を確保するために、さまざまなパワーレベルを持っています。要約すると、SEMITOOL 460S Photoresist Machineは、さまざまな正負のフォトレジスト材料の自動湿式処理を提供するように設計された高度なツールです。高度なプロセス制御ソフトウェア、一貫した温度のための循環浴室、および信頼性の高い再現性のあるプロセスを保証するためのさまざまな追加機能とアクセサリを備えています。