中古 SEMITOOL 460S #9194050 を販売中

SEMITOOL 460S Photoresist Equipmentは、特定の光学特性を持つ層を作成するために、ユーザーが基板上に幅広いレジストまたは材料を堆積できるように設計されたハイテク機器です。460Sはバッチ処理システムです。つまり、複数の基板をユニットに積み込み、1つの操作で処理することができます。バッチサイズは最大24基に制限されていますが、最小サイズは1基です。SEMITOOL 460S機は、フォトポリマー化された液体レジスト、eビームレジスト、コーティングレジストなど、幅広いレジスト材料を受け入れるように設計されています。工具の柔軟性により、機械のセットアップ時間が短縮され、さまざまなプロセスレシピが採用され、ユーザーはアプリケーションの個々のニーズに合うようになります。460Sは、構造とそのプロセス全体にわたって均一な温度を確保するために、高度な熱制御技術を利用しています。温度はクローズドループのフィードバックプロセスによって調整され、プログラムの実行中に温度が正確に維持されるようにします。さらに、クローズドループのフィードバック制御により、温度を時間とともに調整または調整することができ、ユーザーはプロセスパラメータをさらに精製することができます。SEMITOOL 460Sは、精密自動ロボティクスと可動プラットフォームを使用して基板を配置します。このプラットフォームは、プログラマブルポジショナーを備えた7軸設計で、基板を正確に指向させることができます。さらに、プラットフォームは高速位置決めを実現するように設計されており、プロセス中に潜在的な衝突を避けるために真空アセットが装備されています。460Sモデルには、プロセス中にレジスト層の厚さを確認するために設計された高感度光学装置が装備されています。赤外線ユニットを採用しているため、層の厚さを素早く正確に測定でき、時間と労力を削減できます。SEMITOOL 460Sフォトレジストマシンは、基板の大規模なバッチ上の精密コーティングを必要とするユーザーにとって理想的なソリューションです。このツールは、ユーザーに望ましい最終結果を達成するために必要な精度と制御を提供しながら、大きな柔軟性を提供します。460Sは、レジストやその他の材料の高精度コーティングを必要とする産業および研究用途に最適なソリューションです。