中古 SEMITOOL 460F #151780 を販売中

SEMITOOL 460F Photoresist Equipmentは、半導体部品の製造において半導体ウェーハを処理するために設計された、全自動の前面ケミカルウェットステーションです。このシステムは、フォトレジストコーティング工程で優れた化学的均一性、柔軟性、および精度を提供するように設計されています。460Fはウェーハローダーとウェーハアンローダーを内蔵しており、標準構成とベアバック構成の両方で4インチと6インチのウェーハを含む幅広いウェーハ基板に対応できます。ウェーハのローディングとアンロードは、最高品質の結果を保証するためにロボットアームで行われます。このユニットは、20分から6時間まで調整可能なローディング時間で、サイクルごとに最大8つのウェーハを処理するように構成することができます。機械は正確で、均一なコーティングの厚さを保障するために精密化学測定の制御と設計されています。このツールには、すべてのフォトレジストおよび化学ディスペンスのディスペンスレートを監視および記録する高度なケミカルディスペンスコントローラが装備されています。SEMITOOL 460F資産は、事前に決定されたレシピパラメータに従ってプログラミングできる均一な分配およびコーティングプロファイルを作成することができます。460Fモデルには、自己診断テスト機能とアラームログも搭載されており、機器の監視とメンテナンス、故障検出を容易に行うことができます。さらに、ウェーハプロセスチャンバー内の温度安定性を維持し、フォトレジストの解像度を高めるための冷却塔を備えた温度制御ユニットを内蔵しています。SEMITOOL 460F Photoresist Machineは、信頼性の高い効率的なウェーハ処理方法を必要とする半導体研究所や研究施設にとって理想的な選択肢です。このツールは、優れた化学的均一性と正確なフォトレジストコーティングを提供するように設計されています。460F資産は、フォトレジスト処理に質の高いソリューションを必要とする研究室や生産施設に最適です。